由外漏、內(nèi)漏、油孔堵塞、泵油質(zhì)量**或污染變質(zhì)、有水汽等可凝性物質(zhì)、儀器儀表失真、真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常等引起。 

外漏較多時(shí)，排氣口可看到白色蒸汽。油標(biāo)處有較多氣泡，手在排氣口上可感到排氣壓力。低級(jí)排氣閥處油面有較多氣泡。功率會(huì)有所增加。這時(shí)，首先應(yīng)檢查氣鎮(zhèn)閥是否已關(guān)好。由于新泵出廠每臺(tái)都在泵口測(cè)極限壓力，所以如有外漏現(xiàn)象，應(yīng)對(duì)泵口及管道、閥門(mén)、容器逐一檢查。外軸封失效、油杯無(wú)油、油孔悶頭漏氣也可造成外漏。 

內(nèi)漏可由泵內(nèi)的運(yùn)動(dòng)間隙、排氣閥座平面、排氣閥的密封面、內(nèi)軸封、泵蓋平面、進(jìn)氣管、氣鎮(zhèn)閥密封件等引起。磨損、腐蝕、咬合會(huì)使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙加大。

油孔阻塞時(shí)，打開(kāi)加油孔聽(tīng)，泵的噪聲會(huì)較輕，在油箱密封良好的情況下，如果手在排氣口上有被吸的感覺(jué)，排氣閥可能失效。 如果真空泵油清潔，長(zhǎng)期存放未用，可開(kāi)氣鎮(zhèn)閥凈化泵內(nèi)水汽。若無(wú)效，要檢查儀表。

若泵油發(fā)黃發(fā)白已乳化，可全開(kāi)氣鎮(zhèn)，調(diào)大氣鎮(zhèn)量?jī)艋\(yùn)轉(zhuǎn)，必要時(shí)可在泵口放入適量氣體運(yùn)轉(zhuǎn)，可加快凈化過(guò)程。若抽入其他揮發(fā)性氣體或液體，要及時(shí)換油，必要時(shí)請(qǐng)洗油箱。有些泵，在級(jí)間氣道里會(huì)沉積泵液，為取得好的換油效果，要設(shè)法把沉積泵液排出。 

極限壓力是用座式壓縮式水銀真空計(jì)測(cè)量的。用經(jīng)校準(zhǔn)的熱偶真空計(jì)等全壓力計(jì)測(cè)量時(shí)，測(cè)得值會(huì)增加。注意熱偶真空計(jì)的規(guī)管要配對(duì)校準(zhǔn)。建議備用一只同時(shí)校準(zhǔn)的規(guī)管，以備懷疑規(guī)管污染失真時(shí)進(jìn)行對(duì)比。 極限壓力升高會(huì)使高真空時(shí)段的抽氣效率下降，也會(huì)使極限全壓力升高。可以參照上述介紹來(lái)判斷、檢查、處理抽氣效率下降和極限全壓力升高的故障。